日本HORIBA崛場多氣體數(shù)字質量流量控制器
日本HORIBA崛場多氣體數(shù)字質量流量控制器

SEC-Z500X系列

數(shù)字式質量流量控制器

搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數(shù)字質量流量控制器暢銷型號。
實現(xiàn)了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內的快速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質量流量控制器也適用于各種制造流程。

• 多量程/多氣體適用
  可在用戶端更改氣體種類和滿量程流量。有助于減少備件等成本。

• 寬范圍
  可實現(xiàn)從微小流量（5SCCM F.S.）到大流量（500SLM F.S.）的精確控制

• 高精度
  ±1.0% 設定值（S.P.）保證

• 高速応答
  全范圍1秒以內(T98)

• 緊湊尺寸
  面間距離106mm（適用于50SLM以下、1/4VCR型），兼容1.125英寸氣體面板。

• 超清潔對應
  采用全不銹鋼結構的煤氣接口部件，內表面研磨處理為標準配置。
  
  

• SEC-Z500X系列

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• 數(shù)字式質量流量控制器

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• 搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數(shù)字質量流量控制器暢銷型號。
  實現(xiàn)了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內的快速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質量流量控制器也適用于各種制造流程。

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