日本daico藥液純水高溫加熱用內(nèi)聯(lián)CL加熱器
日本daico藥液純水高溫加熱用內(nèi)聯(lián)CL加熱器
大興制作所的在線加熱器（CL加熱器：Chemical Line Heater）是為半導體制造濕法工藝中各種藥液及純水高溫加熱而設計的清潔加熱單元，其接觸液體部分采用高純度石英玻璃，利用鹵素燈加熱器的紅外光能量進行加熱

產(chǎn)品特點

1. 高清潔性
• 接液部分采用高純度石英玻璃，金屬離子溶出極少，且具有優(yōu)異的耐熱性和耐藥性。
• 采用光輻射加熱方式，即使加熱器損壞也不會導致金屬污染。
2. 高效率熱源
• 使用快速響應的鹵素加熱器，紅外線轉換率和投射率超過85%。
3. 安全性
• 配備過熱傳感器、過熱檢測傳感器和漏液檢測導線。
• 需要單獨的檢測器。
• 空燒檢測傳感器和過熱檢測傳感器應分別使用。
4. 維護性
• 采用單端加熱器，便于緊湊收納和維護。

內(nèi)部結構

• 加熱方式：鹵素燈加熱器輻射加熱
• 型號：
• CLH2603T-25P：6KW
• CLH3903T-25P：9KW
• CLH4123T-25P：12KW
• 最高使用溫度：180℃
• 接液部分材質(zhì)：高純度石英玻璃
• 允許內(nèi)壓：0.4MPa
• 管道口徑（石英）：25mm
• 適用管道（氟樹脂）：φ25mm
• 安全機構：過熱傳感器、過熱檢測傳感器、漏液檢測導線
• 消耗功率：AC200V 6KVA、9KVA、12KVA
• 機箱材質(zhì)：氟樹脂（PTFE）
• 機箱尺寸（W×L×H）：230×432×242mm
• 重量：約14kg、15kg、16kg