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日本micro-granite超薄晶圓厚度測(cè)量裝置

日本micro-granite超薄晶圓厚度測(cè)量裝置
MicroGravite BG measure是一種將晶圓固定在基座上,從單面(上表面)照射紅外線,通過測(cè)量表面反射光和背面內(nèi)表面反射光的相位差來測(cè)定厚度的系統(tǒng)。由于可以將被測(cè)物體固定在基座上,即使是薄晶圓也可以進(jìn)行測(cè)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Real BG300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-01
  • 訪  問  量:176
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詳細(xì)介紹

日本micro-granite超薄晶圓厚度測(cè)量裝置
日本micro-granite超薄晶圓厚度測(cè)量裝置
eal BG300型號(hào)是一種用于背磨后加工的多功能厚度測(cè)量設(shè)備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測(cè)硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸(左右軸)、Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)讀數(shù),它測(cè)量X、Y和θ軸上的兩條中心線,以及測(cè)量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測(cè)量Y軸和θ軸上整個(gè)表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器,Real BG300還能夠測(cè)量帶有固定背磨框架(保護(hù)膜/背磨帶)的晶圓。請(qǐng)注意:為了測(cè)量厚度,該設(shè)備需要具有大約#2000網(wǎng)紋或更大粗糙度的鏡面。eal BG300型號(hào)是一種用于背磨后加工的多功能厚度測(cè)量設(shè)備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測(cè)硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸(左右軸)、Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)讀數(shù),它測(cè)量X、Y和θ軸上的兩條中心線,以及測(cè)量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測(cè)量Y軸和θ軸上整個(gè)表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器,Real BG300還能夠測(cè)量帶有固定背磨框架(保護(hù)膜/背磨帶)的晶圓。請(qǐng)注意:為了測(cè)量厚度,該設(shè)備需要具有大約#2000網(wǎng)紋或更大粗糙度的鏡面。

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