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便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀

便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機株式會社開發(fā)的便攜式半導體材料氣體檢測儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測多種半導體制造過程中使用的氣體。該設備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了世界小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導體材料氣體的泄漏檢測。

產(chǎn)品型號：XPS-7II
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-11-18
訪問量：159

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詳細介紹

便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀

XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機株式會社開發(fā)的便攜式半導體材料氣體檢測儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測多種半導體制造過程中使用的氣體。該設備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了世界小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導體材料氣體的泄漏檢測。

核心特點

傳感器單元更換系統(tǒng)：

現(xiàn)場可更換：傳感器單元可在使用現(xiàn)場輕松更換
多氣體檢測：一臺設備通過更換傳感器單元可檢測多種氣體
免校準設計：傳感器單元更換后無需校準，節(jié)省維護時間和成本

世界小尺寸：

超緊湊設計：在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)世界小尺寸
輕量化：約1.3kg重量，便于攜帶和操作
NF?檢測：作為便攜式NF?檢測儀，具有業(yè)界的緊湊性

智能報警系統(tǒng)：

漸進式報警：報警音隨氣體濃度變化而變化，從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
高濃度報警：高濃度時發(fā)出連續(xù)音報警
多重顯示：LCD閃爍、紅色報警燈閃爍等多重報警方式

國際認證：

CE標志：符合歐洲CE規(guī)格要求

技術規(guī)格詳解

項目	規(guī)格
檢測對象	半導體材料氣體
檢測原理	定電位電解式
采樣方式	自動吸引式
檢測范圍	根據(jù)規(guī)格而定
報警設定值	根據(jù)規(guī)格而定
報警方式	蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示
響應時間	60秒以內(nèi)（60%響應）
尺寸	W62×H150×D128mm（不含突起部分）
重量	約1.3kg
工作溫度范圍	0℃～+40℃
連續(xù)使用時間	12小時以上（NF?傳感器單元使用8小時以上）※堿性干電池、20℃、無報警時

主要應用領域

半導體制造：

半導體工廠中半導體材料氣體的泄漏檢測
化學氣相沉積（CVD）工藝氣體監(jiān)測
刻蝕工藝氣體檢測
離子注入工藝氣體監(jiān)測

典型檢測氣體：

NF?（三氟化氮）：主要用于CVD腔室清洗
SiH?（硅烷）：用于硅膜沉積
PH?（磷化氫）：用于摻雜
AsH?（砷化氫）：用于摻雜
B?H?：用于摻雜
WF?（六氟化鎢）：用于鎢膜沉積

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