Oji Keisoku光學(xué)薄膜相位差橢圓偏振測量儀
Oji Keisoku光學(xué)薄膜相位差橢圓偏振測量儀

1. 測量方式

• 平行尼科爾旋轉(zhuǎn)法
• 旋轉(zhuǎn)偏振器法
• 平行尼科爾光譜法（可擴展 400-800 nm 連續(xù)光譜）
  三種方法集成在一臺主機內(nèi)，用戶可按樣品特性一鍵切換 。

2. 測量范圍與精度

• 相位差：2 nm – 20 000 nm（超低到超高全覆蓋）
• 取向角（慢軸角）
  – 分辨率 0.001°
  – 重復(fù)性 ≤0.05°（標(biāo)準(zhǔn)樣品 10 次測量 3σ）

1. 超寬量程
   1 nm 起步， 20 000 nm（≈ 20 µm），覆蓋 OLED 圓偏光片超低相位差（< 10 nm）到厚液晶盒、補償膜大相位差（> 5 000 nm）全區(qū)間。
2. 高精度與重復(fù)性
   相位差分辨率 0.001 nm，重復(fù)性 3σ ≤ 0.03 nm（150 nm 標(biāo)準(zhǔn)片，590 nm 波長）；取向角分辨率 0.001°，重復(fù)性 3σ ≤ 0.005°。
3. 三合一測量法
   ① 平行尼科爾旋轉(zhuǎn)法——常規(guī)高速面內(nèi) mapping；
   ② 旋轉(zhuǎn)偏振器法——一次旋轉(zhuǎn)即可得橢圓率 ψ、Δ；
   ③ 平行尼科爾光譜法——400–800 nm 連續(xù)譜，給出波長色散曲線。
4. 免維護(hù) LED 光源
   標(biāo)準(zhǔn) 450/500/550/590/630/680 nm 六波段，400–800 nm 分光可選；LED 壽命 > 20 000 h，無需換燈。
5. 尺寸緊湊、開口大
   機身 W300 × D700 × H475 mm，比舊款 KOBRA-W 系列體積減小 40 %；樣品窗開口加大，偏光板、100 × 100 mm 大片可直接插入。