日本luceo臺式全自動(dòng)旋轉(zhuǎn)檢偏法應(yīng)力檢測儀
日本luceo臺式全自動(dòng)旋轉(zhuǎn)檢偏法應(yīng)力檢測儀

1. 真正零人工
   內(nèi)置 5 MP 全局快門 CCD + 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)檢偏器，軟件自動(dòng)找消光角，無需眼盯視場，排除操作者誤差。
2. 面測量，不是點(diǎn)拼接
   單次拍攝 20 mm×15 mm 視場（可拼接），像素級給出 R 值與慢軸方位，3 s 完成；同區(qū)域若用激光點(diǎn)掃需 5-10 min。
3. 延遲量段全覆蓋
   標(biāo)準(zhǔn)型 0-130 nm（σ≈0-3 MPa 在玻璃），高量程型 0-3000 nm 可選；分辨率 0.1 nm，重復(fù)性 ≤1 nm。
4. 光源十年免換
   高輝度白光 LED＋546 nm 窄帶切換，壽命 50 000 h，無汞、無熱量，潔凈室可用；亮度軟件閉環(huán)，年衰減<1 %。
5. 軟件一鍵分析
• 任意線/圓/矩形截面曲線
• 區(qū)域直方圖、3D 立體圖、CSV/圖像自動(dòng)命名保存
• 自動(dòng)計(jì)算σ、平均σ、應(yīng)力梯度、OK/NG 判定，可回 Excel 模板。
6. 樣品即放即測
   載臺 200 × 200 mm，Z 軸 60 mm 可調(diào)；厚度 0.03-20 mm 無需夾具，翹曲樣品可用真空吸附臺（選件）。
7. 小體積省空間
   320 × 400 × 720 mm，18 kg，100-240 V 直插；可放通風(fēng)櫥或桌面，移動(dòng)輪一人可推。
8. 行業(yè)實(shí)績
• 蓋板玻璃：康寧、AGC、肖特產(chǎn)線全檢
• 半導(dǎo)體：信越 12" 晶圓背面研磨應(yīng)力監(jiān)控
• 光學(xué)膜：偏光片 TAC 內(nèi)殘膠應(yīng)力評價(jià)
• 醫(yī)療：輸液瓶、西林瓶成型后應(yīng)力抽檢