韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體PTFE制過濾器
韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體PTFE制過濾器

• BIKAL™ GFP系列高純度PTFE氣體過濾器
• 產(chǎn)品類型: PTFE（聚四氟乙烯）氣體過濾器
• 應(yīng)用領(lǐng)域: 高純度氣體系統(tǒng)，主要用于半導(dǎo)體制造工藝

主要特點(diǎn)與優(yōu)勢

1. PTFE氣體過濾器 - 采用聚四氟乙烯過濾材料
2. 耐腐蝕性和兼容性 - 優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和材料兼容性
3. 低壓降高流量性能 - 在保證過濾效果的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高流量、低壓降
4. 緊湊直徑設(shè)計(jì) - 便于安裝，節(jié)省空間

技術(shù)規(guī)格

材料規(guī)格

• 過濾元件: PTFE（聚四氟乙烯）
• 支撐材料: PFA（全氟烷氧基樹脂）
• 外殼: 電解拋光316L不銹鋼

操作條件

• 入口壓力: 1MPa @ 20℃
• 操作溫度: 120℃

過濾性能

• 去除精度: ≥0.0025μm（2.5納米）
• 顆粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）- 可去除所有顆粒
• 氦氣泄漏率: 1×10??cc/sec
• 內(nèi)表面光潔度: ≤5.00 μin Ra

產(chǎn)品型號與尺寸

• GFPV4D19L84 - 包含A、B、C、D、E、F六個維度的具體尺寸

性能特點(diǎn)

• 專為高純度氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)
• 具有出色的過濾精度和可靠性
• 緊湊的設(shè)計(jì)便于系統(tǒng)集成和安裝

GFP系列PTFE氣體過濾器相比金屬過濾器(GFT系列)具有更低的操作壓力和溫度范圍（1MPa/120℃ vs 20MPa/460℃），但保持了相同的超高過濾精度（2.5納米）。PTFE材料提供了更好的化學(xué)惰性和耐腐蝕性，特別適合對材料兼容性要求高半導(dǎo)體氣體處理應(yīng)用。