日本fusoseiki晶圓清洗液噴涂超細(xì)霧化噴嘴

日本fusoseiki晶圓清洗液噴涂超細(xì)霧化噴嘴

1. 設(shè)計亮點(diǎn)

• 12 孔 360° 均布空氣帽（ST 系列僅 2 孔），霧化空氣量提升 6 倍，顆粒中位徑 5–15 µm。
• 內(nèi)置階梯緩沖腔 + 擋板，先減速再加速，抑制“邊緣逸散"，實(shí)測涂著效率比 ST 系列高 15–20 %。
• 全不銹鋼（SUS303）液路，可選 SUS316L、PPS、FKM 全防腐規(guī)格，對應(yīng)水性 PU、陶瓷漿、醫(yī)療級硅膠。

3. 典型性能
   MK-3-S-0.8

• 流量范圍：10–120 mL·min?1
• 霧化氣壓：0.25–0.5 MPa
• 噴霧寬度：30–80 mm@150 mm 槍距
• 顆粒中位徑：≈7 µm（0.35 MPa）

• 流量范圍：50–300 mL·min?1
• 扇幅：120 mm@200 mm 槍距
• 顆粒中位徑：≈12 µm

4. 已落地場景

• 手機(jī)玻璃后蓋 AF 防指紋油：六軸機(jī)器人 + MK-3-A-0.5，膜厚 8–12 nm，水接觸角 ≥ 115°，一次合格率 98 %。
• 車載轉(zhuǎn)向燈 PC 透鏡 UV 硬化底涂：MK-3-S-0.8-H，膜厚 2–3 µm，Ra ≤ 0.02 µm，無彩虹紋。
• 鋰電池隔膜陶瓷涂層：MK-3-P-1.0-W，固含量 30 %，幅寬 650 mm，雙排槍速度 80 m·min?1。
• 醫(yī)療支架硅油潤滑膜：MK-3-A-0.3，顆粒 5 µm，每支支架 0.2 mg 油均勻覆蓋。