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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵
轉(zhuǎn)子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長
新型分區(qū)加熱系統(tǒng)：保持泵腔溫度梯度，減少副產(chǎn)物沉積，提高工藝耐受性

  • 產(chǎn)品型號：SDX600/SDT600
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2026-01-07
  • 訪  問  量：129
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詳細(xì)介紹

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

產(chǎn)品定位

  • SDX：節(jié)能?對應(yīng)苛刻工藝機(jī)型
  • SDT / SDH：高工藝耐受性?超級苛刻工藝對應(yīng)機(jī)型（SDH為更高耐工藝系列）

關(guān)鍵規(guī)格一覽

機(jī)型抽速*極限壓力N?流量冷卻水功耗外形尺寸(mm)
SDX60010,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min1.5 kW695×285×850
SDT60018,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.0 kW695×285×850
SDX120019,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min1.65 kW850×380×950
SDT120030,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.15 kW910×420×900
SDX180050,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min2.1 kW1050×515×950
SDT1800100,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.3 kW1050×515×950
SDH3000*※咨詢※咨詢4 L/min3.3 kW1050×515×950
SDH6000*※咨詢※咨詢4 L/min3.7 kW1050×515×950
*注：SDH系列為更高工藝耐受版本，詳細(xì)性能需聯(lián)系營業(yè)擔(dān)當(dāng)。

通用參數(shù)

  • 電源：3相 AC200–220 V（50/60 Hz）
  • 極限壓力：無加熱、無N?吹掃條件下測得
  • 抽速：為參考值
  • 冷卻水：工業(yè)用水，流量見上表

共同技術(shù)特點

  • 垂直螺桿轉(zhuǎn)子：轉(zhuǎn)子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長
  • 新型分區(qū)加熱系統(tǒng)：保持泵腔溫度梯度，減少副產(chǎn)物沉積，提高工藝耐受性
  • 空冷 + 氣鎮(zhèn)（Gas-Ballast）：無需冷卻水配管即可排蒸氣流，節(jié)省潔凈區(qū)空間
  • 集中監(jiān)控（CMS）接口：可遠(yuǎn)程讀取溫度、電流、壓力，與主機(jī)臺聯(lián)動

典型應(yīng)用

  • 硅/碳化硅晶圓刻蝕、CVD、ALD、離子注入
  • LED 藍(lán)寶石襯底與 GaN 外延層工藝
  • 功率器件、射頻器件的金屬濺射與氧化物成膜
  • 大面積 FPD（TFT-LCD、OLED）干刻與 PECVD 制程


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