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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本kaijo高頻超聲波管狀噴嘴型局部清洗機

日本kaijo高頻超聲波管狀噴嘴型局部清洗機
這是一款小巧靈活的管式兆聲波清洗系統(tǒng),50W以下機型在日本國內(nèi)無需高頻申請,適合嵌入現(xiàn)有單片清洗設備,通過柔性管狀噴嘴實現(xiàn)晶圓側(cè)面、背面或局部的精密無損傷清洗。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2026-01-30
  • 訪  問  量:99
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詳細介紹

日本kaijo高頻超聲波管狀噴嘴型局部清洗機

日本kaijo高頻超聲波管狀噴嘴型局部清洗機

產(chǎn)品名稱

クオーバ メガチューブ(QUAVA MEGATUBE)
英文:QUAVA Megasonic Tube Cleaning System

產(chǎn)品概述

這是一款搭載高頻超聲波管狀噴嘴型單片刻洗設備(枚葉用)。
通過管狀噴嘴噴射帶有超聲波的清洗液,實現(xiàn)新一代精密清洗。

主要特點

  • 側(cè)面/背面照射兼容:可實現(xiàn)晶圓側(cè)面和背面的定向清洗
  • 高自由度管狀噴嘴:柔性管狀設計實現(xiàn)均勻清洗
  • 繼承QUAVA高性能:針對單片(枚葉)清洗優(yōu)化

核心規(guī)格

參數(shù)規(guī)格
工作頻率430 kHz / 950 kHz(兆聲波頻段)
輸出50W(20110型)
最小輸出1W
輸出功率調(diào)節(jié)精度0.1W步進微調(diào)
電源AC100~240V 寬電壓(單相50/60Hz)


信號發(fā)生器(発振器)特點

功能說明
遠程控制可通過上位計算機(Host Computer)遠程變更輸出功率
精細調(diào)節(jié)0.1W步進微調(diào),4位數(shù)字顯示
軟啟動搭載Soft Start功能,防止啟動沖擊
免調(diào)整設計更換振動子時無需調(diào)整信號發(fā)生器
電源兼容AC100~240V 自由電源

信號發(fā)生器規(guī)格(20110型 / QT-003型)


項目規(guī)格
/最小輸出50W / 1W
輸出調(diào)節(jié)單位0.1W
頻率430kHz / 950kHz(可選)
振蕩方式PLL振蕩、A模式
頻率調(diào)整軟件自動跟蹤PLL方式
電源電壓AC100~240V±10% 單相50/60Hz
消耗電流5A
顯示7段4位數(shù)字顯示
外圍接口遠程端子、外部輸出控制、異常輸出端子、模擬輸出端子(4-20mA)、強制停止端子
保護電路輸出異常報警、振動子異常報警、發(fā)熱異常報警
外形尺寸218(W)×258(D)×138(H)mm
重量約5kg

振動子(振動子)特點

■ 管型噴嘴三種照射方式可選

  1. 前端照射方式:噴嘴直射
  2. 淋浴照射方式:廣域噴灑式
  3. 側(cè)面照射方式:側(cè)向出液

■ 安裝優(yōu)勢

  • 管式噴嘴設計:不限定振動子安裝空間,易于嵌入現(xiàn)有設備

振動子規(guī)格


型號27222型17222型28222型
容許輸入50W20W30W
搭配信號發(fā)生器20110(QT-003)型(同上)(同上)
工作頻率430kHz950kHz430kHz
外殼材質(zhì)PCTFE(聚三氟氯乙烯)PCTFEPCTFE
振動板材質(zhì)Ta(鉭)TaTa
耐熱溫度15~40℃(同上)(同上)
使用液量2.0~3.5 L/分1.0~2.0 L/分1.0~1.5 L/分
外形尺寸Φ57×90(H)mmΦ36×71(H)mm(同17222型)

應用場景

  • 半導體晶圓(枚葉)單片刻洗:針對單片晶圓的局部精密清洗
  • 側(cè)面/背面清洗:標準兆聲波難以達到的晶圓側(cè)面清潔
  • 選擇性清洗:通過管狀噴嘴對特定區(qū)域進行定點清洗
總結(jié):這是一款小巧靈活的管式兆聲波清洗系統(tǒng),50W以下機型在日本國內(nèi)無需高頻申請,適合嵌入現(xiàn)有單片清洗設備,通過柔性管狀噴嘴實現(xiàn)晶圓側(cè)面、背面或局部的精密無損傷清洗。


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