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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本kaijo光刻膠剝離點狀噴淋超聲波清洗機

日本kaijo光刻膠剝離點狀噴淋超聲波清洗機
介于常規(guī)超聲波(28-40kHz)和兆聲波(430kHz+)之間的中間頻率
強力清洗:相比兆聲波,200kHz有更強的物理清洗力,同時保持較低的空化損傷
繼承QUAVA高性能:專為單片(枚葉)晶圓清洗優(yōu)化

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2026-01-30
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詳細介紹

日本kaijo光刻膠剝離點狀噴淋超聲波清洗機

日本kaijo光刻膠剝離點狀噴淋超聲波清洗機

這是一款搭載中頻(200kHz)超聲波點狀噴淋型單片刻洗設(shè)備(枚葉用)。
KAIJO的技術(shù)實力將200kHz中頻超聲波與清洗液結(jié)合,實現(xiàn)了高性能的噴淋清洗。

核心特點

  • 中頻200kHz:介于常規(guī)超聲波(28-40kHz)和兆聲波(430kHz+)之間的中間頻率
  • 強力清洗:相比兆聲波,200kHz有更強的物理清洗力,同時保持較低的空化損傷
  • 繼承QUAVA高性能:專為單片(枚葉)晶圓清洗優(yōu)化

主要應(yīng)用

  • 光刻膠剝離(レジスト剝離):去除光刻后的膠層
  • 蝕刻后殘渣去除(エッチング後の殘渣):清除干法/濕法蝕刻后的殘留物
  • 其他需要較強物理清洗力的單片清洗工藝

技術(shù)規(guī)格

■ 工作頻率

參數(shù)規(guī)格
標稱頻率200 kHz
發(fā)生器可調(diào)范圍40 - 250 kHz(寬范圍連續(xù)可調(diào))

信號發(fā)生器(発振器)詳細規(guī)格(20110型 / QT-017型)

項目規(guī)格
型號20110(QT-017)型
頻率范圍40 - 250 kHz(連續(xù)可調(diào),覆蓋中頻區(qū))
標稱工作頻率200 kHz
輸出50W*
最小輸出1W
輸出調(diào)節(jié)精度0.1W步進微調(diào)
顯示4位數(shù)字顯示
振蕩方式PLL振蕩、A模式
頻率跟蹤軟件自動跟蹤PLL方式
電源AC100~240V 250VA 單相50/60Hz(寬電壓)
遠程控制支持與上位計算機(Host PC)相互通信及遠程功率變更
軟啟動搭載Soft Start功能,防止啟動沖擊
免調(diào)整設(shè)計更換振動子時無需重新調(diào)整信號發(fā)生器
外部接口遠程端子、外部輸出控制、強制停止端子、綜合報警端子、模擬輸出(4-20mA)
保護功能輸出異常報警、振動子異常報警、發(fā)熱異常報警
外形尺寸218(W)×258(D)×138(H)mm
*:輸出功率和頻率會根據(jù)所連接的振動子型號自動限制和控制。


技術(shù)優(yōu)勢與應(yīng)用對比


特征200kHz(本設(shè)備)430/950kHz(高頻版)28-40kHz(常規(guī)超聲)
清洗機制中頻空化+聲流主要聲流加速度強力空化氣泡破裂
損傷性極低(幾乎無空化)較高(可能損傷圖案)
去除力(適合去膠/去渣)中等(適合微粒去除)(但損傷風(fēng)險大)
適用工藝光刻膠剝離、蝕刻后清洗納米顆粒去除、精密清洗粗洗、重度污染去除


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