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日本KAGATECHNO藥液循環(huán)用石英在線加熱器專用于藥液循環(huán)加熱的直管式在線加熱器，與藥液循環(huán)槽配套使用。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-02-06訪 問(wèn) 量：86
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日本KAGATECHNO藥液循環(huán)用石英在線加熱器
日本KAGATECHNO藥液循環(huán)用石英在線加熱器
| 特點(diǎn) | 詳細(xì)說(shuō)明 |
|---|---|
| 耐久性 | 尤其在氮化物蝕刻（Nitride Etching）和SC-1清洗工藝中表現(xiàn)出眾的長(zhǎng)壽命實(shí)績(jī) |
| 加熱元件 | 采用Inconel（英科奈爾/鎳鉻鐵合金）加熱器，解決傳統(tǒng)空燒斷線和氣泡積聚斷線問(wèn)題 |
| 高效加熱 | 熱效率高，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命在線加熱 |
| 結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì) | 網(wǎng)目狀加熱元件直接粘合在石英筒外表面，無(wú)剝離、無(wú)縫隙、無(wú)斷線風(fēng)險(xiǎn) |
| 高潔凈度 | 接液部為高純度石英玻璃，無(wú)金屬離子溶出，不影響半導(dǎo)體器件 |
| 無(wú)積液設(shè)計(jì) | 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無(wú)液體滯留死角 |
| 阻燃外殼 | 采用阻燃性優(yōu)異的FrPP（自熄性聚丙烯） |
| 安全保護(hù) | 配備Inconel加熱器溫度檢測(cè)的過(guò)熱防止安全機(jī)構(gòu) |
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 加熱器功率 | 2.2kW / 4.4kW / 6.5kW |
| 電源 | 單相200V |
| 使用溫度范圍 | 室溫～160℃ |
| 適用藥液 | 氨水*混合物（SC-1）、磷酸等 |
| 連接方式 | 3/4英寸 石英擴(kuò)口接頭（Flare Fitting） |
| 工藝環(huán)節(jié) | 具體應(yīng)用 |
|---|---|
| 清洗工藝 | 擴(kuò)散前處理等 |
| 蝕刻工藝 | 氮化物蝕刻（Nitride Etching） |
| 剝離工藝 | 光刻膠（Resist）剝離 |
| 其他 | 各種精密清洗工藝 |
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