日本showa晶圓低溫烘烤超薄平面鋁制加熱器

日本showa晶圓低溫烘烤超薄平面鋁制加熱器

溫度分布（實(shí)測(cè)值）

• 測(cè)量?jī)x器：日本Avionics公司 Compact Thermo TVS-2200 紅外熱像儀
• 實(shí)測(cè)溫度：201.0℃ / 202.0℃ / 202.0℃ / 201.50℃
• 溫度均勻性：±0.5℃（±0.25%）

? 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 薄型化·輕量化

2. 加熱效率高，節(jié)能環(huán)保

• 標(biāo)配反射器（Reactor/Reflector） 提高加熱效率
• 低瓦數(shù)即可實(shí)現(xiàn)良好加熱，節(jié)能性能優(yōu)異

從升溫曲線可見，400W鋁加熱器性能超越600W傳統(tǒng)產(chǎn)品，節(jié)能33%以上

3. 高遠(yuǎn)紅外線放射率

Almite處理：鋁的陽極氧化處理，形成氧化鋁膜，提高表面發(fā)射率和耐腐蝕性

 適用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體制造：晶圓低溫烘烤（<200℃）、光刻膠軟化
• 精密電子：PCB低溫干燥、電子元件預(yù)熱
• 食品/醫(yī)藥：低溫干燥、保溫（需要節(jié)能的場(chǎng)合）
• 塑料/橡膠：低溫預(yù)熱、軟化
• 節(jié)能改造：替代傳統(tǒng)600W以上加熱器，實(shí)現(xiàn)400W等效加熱
• 需要精確溫度均勻性（±0.5℃）的場(chǎng)合