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日本techvision旋轉(zhuǎn)照射式晶圓UV固化裝置

日本techvision旋轉(zhuǎn)照射式晶圓UV固化裝置
UVC-408是Techno Vision推出的高性能UV固化裝置，采用旋轉(zhuǎn)照射方式實現(xiàn)晶圓全區(qū)域均勻固化，并搭載高效率小流量氮氣置換技術(shù)，在確保固化質(zhì)量的同時大幅降低運行成本和設(shè)備占用空間，是半導(dǎo)體制造中光刻膠及各類薄膜UV固化工藝的理想選擇

產(chǎn)品型號：UVC-408
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2026-02-06
訪問量：93

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詳細介紹

日本techvision旋轉(zhuǎn)照射式晶圓UV固化裝置

日本techvision旋轉(zhuǎn)照射式晶圓UV固化裝置.

產(chǎn)品特點

1. 兼容多種晶圓尺寸

200mm / 8英寸對應(yīng)UV固化裝置
300mm / 12英寸對應(yīng)UV固化裝置

2. 均勻UV照射技術(shù)

通過旋轉(zhuǎn)工件（ワーク）同時進行照射，可對晶圓全區(qū)域進行均勻的UV照射。

旋轉(zhuǎn)照射方式有效消除傳統(tǒng)固定照射造成的照射不均問題。

3. Techno Vision高效率小流量氮氣置換功能

特性	說明
氮氣用量	相比傳統(tǒng)裝置大幅減少
置換效果	同時確保可靠的置換效果
核心技術(shù)	高效率、小流量N?置換技術(shù)

?? 成本優(yōu)勢

這些特點對以下方面的成本降低做出重大貢獻：

成本項目	節(jié)約效果
低功耗	降低電力消耗
微量氣體消耗	減少氮氣等氣體使用成本
運行成本（Running Cost）	整體大幅降低

?? 綜合制造效率提升

效率提升點	效果
裝置成本削減	降低設(shè)備投資
潔凈室安裝空間減少	減少昂貴的潔凈室占用面積
綜合制造流程效率化	整體優(yōu)化生產(chǎn)效率

?? 技術(shù)規(guī)格

項目	規(guī)格
型號	UVC-408
光源	高壓水銀燈
對應(yīng)晶圓	8英寸（200mm）/ 12英寸（300mm）
照射方式	旋轉(zhuǎn)型均勻照射
特殊功能	高效率小流量N?置換
主要應(yīng)用	UV薄膜固化（光刻膠、聚酰亞胺等）

?? 應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：光刻膠固化、聚酰亞胺（PI）固化、BCB固化
封裝：晶圓級封裝（WLP）中的絕緣膜固化
MEMS制造：感光性樹脂固化
LED/OLED：封裝材料固化

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日本techvision旋轉(zhuǎn)照射式晶圓UV固化裝置

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1. 兼容多種晶圓尺寸

2. 均勻UV照射技術(shù)

3. Techno Vision高效率小流量氮氣置換功能

?? 成本優(yōu)勢

?? 綜合制造效率提升

?? 技術(shù)規(guī)格

?? 應(yīng)用領(lǐng)域

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