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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  光學(xué)儀表  /  照射裝置  /  UVC-200/300日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺(tái)式UV固化照射器

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺(tái)式UV固化照射器

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺(tái)式UV固化照射器
這是一款用于半導(dǎo)體晶圓等工件UV照射固化的桌面式設(shè)備,采用LED冷光源技術(shù),具有不傷工件、壽命長、啟動(dòng)快等特點(diǎn),適用于8英寸和12英寸兩種規(guī)格。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UVC-200/300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2026-02-06
  • 訪  問  量:90
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詳細(xì)介紹

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺(tái)式UV固化照射器

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺(tái)式UV固化照射器

采用LED(發(fā)光二極管)作為UV照射光源的LED UV薄膜固化裝置。
相比傳統(tǒng)裝置(高壓水銀燈或金屬鹵化物光源),也能發(fā)揮充分的固化性能(固化狀態(tài)、固化速度)。

?? 核心技術(shù)

高出力LED驅(qū)動(dòng)器

  • Techno Vision獨(dú)自開發(fā)的高出力LED驅(qū)動(dòng)器
  • 實(shí)現(xiàn)250mW/cm2的照射輸出(工作距離10mm)

照射方式

  • 光源部進(jìn)行往復(fù)掃描
  • 同時(shí)對(duì)工件進(jìn)行均勻照射

?? LED光源的優(yōu)勢

優(yōu)勢說明
常溫照射減少LED的常溫照射對(duì)工件的熱損傷
低功耗比傳統(tǒng)光源大幅降低電力消耗
長壽命LED光源壽命遠(yuǎn)超水銀燈
更換安全光源更換時(shí)無汞污染風(fēng)險(xiǎn),更安全


 應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造:光刻膠低溫固化、熱敏感材料處理
  • 封裝:對(duì)溫度敏感的薄膜固化
  • 柔性電子:塑料基板等不耐熱材料的UV固化
  • MEMS制造:熱敏感結(jié)構(gòu)件的樹脂固化
  • 化合物半導(dǎo)體:GaAs、GaN等對(duì)熱敏感的晶圓處理

UV固化設(shè)備規(guī)格

型號(hào)工件尺寸裝置尺寸
UVC-200對(duì)應(yīng)200mm/8英寸750mm(寬)× 640mm(深)× 575mm(高)
UVC-300對(duì)應(yīng)300mm/12英寸750mm(寬)× 640mm(深)× 575mm(高)

特點(diǎn)


序號(hào)特點(diǎn)
1常溫照射,降低對(duì)工件的損傷
2LED長壽命特性
3瞬時(shí)啟動(dòng),提高作業(yè)效率

功能

序號(hào)功能
1高輸出功率照射
2采用高輸出驅(qū)動(dòng)器
3消除照度不均
4采用365nm波長,兼容所有UV膠帶
5內(nèi)置低流量自動(dòng)氮?dú)獯祾吖δ?/td>
6小型、輕量化、桌面式設(shè)計(jì)

產(chǎn)品概述: 這是一款用于半導(dǎo)體晶圓等工件UV照射固化的桌面式設(shè)備,采用LED冷光源技術(shù),具有不傷工件、壽命長、啟動(dòng)快等特點(diǎn),適用于8英寸和12英寸兩種規(guī)格。


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