日本ekusa半導(dǎo)體藥液清洗機專用在線加熱器

日本ekusa半導(dǎo)體藥液清洗機專用在線加熱器

核心特點

1. 高純度性

• 接液部全PFA材質(zhì)：所有與液體接觸部件均采用PFA（全氟烷氧基樹脂）
• 無雜質(zhì)溶出：確保藥液純度不受污染
• 低溫加熱器設(shè)計：不會導(dǎo)致藥液劣化
• 耐堿性：對堿性藥液也具有優(yōu)異的耐腐蝕性，不會劣化

2. 可靠性

• 使用壓力：0.4MPa
• 使用溫度：
• 標(biāo)準(zhǔn)品：80°C
• 特殊規(guī)格：可制作至120°C
• 內(nèi)置過熱報警傳感器：安全監(jiān)控
• 急停溫度控制：停電等緊急停機時，溫度上升僅約10°C，高溫使用也安心
• 內(nèi)置漏水傳感器：及時檢測泄漏
• 抗流動波動和沖擊：適應(yīng)工藝波動

3. 維護(hù)性

• 加熱器：采用低溫設(shè)計，無需更換加熱器
• 超緊湊型設(shè)計：安裝簡便
• 電氣控制兼容：可有效利用現(xiàn)有控制系統(tǒng)

核心參數(shù)總結(jié)

核心優(yōu)勢提煉

典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體清洗：SC-1、SC-2等標(biāo)準(zhǔn)清洗液加熱
• 堿性藥液：氨水、氫氧化鉀等堿性溶液加熱
• 高純度化學(xué)品：電子級藥液恒溫控制
• 濕法刻蝕：刻蝕液溫度控制
• 剝離工藝：光刻膠剝離液加熱