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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁(yè)  /  產(chǎn)品展示  /  傳熱設(shè)備  /  加熱器  /  EXS20日本ekusa超純水 酸堿溶液 藥液PFA加熱器

日本ekusa超純水 酸堿溶液 藥液PFA加熱器

日本ekusa超純水 酸堿溶液 藥液PFA加熱器
這是一款采用臥式圓筒形容器設(shè)計(jì)的在線加熱器,適用于半導(dǎo)體和電子制造中的藥液加熱應(yīng)用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EXS20
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2026-02-07
  • 訪  問(wèn)  量:136
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詳細(xì)介紹

日本ekusa超純水 酸堿溶液 藥液PFA加熱器

日本ekusa超純水 酸堿溶液 藥液PFA加熱器

EXS型藥液加熱器 是Ekusa公司氟樹(shù)脂制加熱器產(chǎn)品線中的一款。這是一款采用臥式圓筒形容器設(shè)計(jì)的在線加熱器,適用于半導(dǎo)體和電子制造中的藥液加熱應(yīng)用。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

特征說(shuō)明
材質(zhì)全氟樹(shù)脂(PFA/PTFE)結(jié)構(gòu),白色外觀
結(jié)構(gòu)形式臥式圓筒形容器,兩端支撐固定
管路連接進(jìn)出液口采用PFA管連接(藍(lán)色接頭)
加熱方式內(nèi)置低溫設(shè)計(jì)加熱器
安裝方式底部支架固定,水平安裝
電氣連接側(cè)面導(dǎo)線引出

典型應(yīng)用場(chǎng)景

  • 半導(dǎo)體濕法工藝:SC-1、SC-2、SPM等清洗液加熱
  • 刻蝕工藝:各種刻蝕液恒溫控制
  • 剝離工藝:光刻膠剝離液加熱
  • 顯影工藝:顯影液溫度控制
  • 化學(xué)品輸送:高純度化學(xué)品管路加熱


EXS型薬液加熱ヒーター

半導(dǎo)體薬液洗浄裝置のインライン用

EXS型は、PFA製で耐薬品性に優(yōu)れ、長(zhǎng)壽命かつ設(shè)置が容易な低ワット密度ヒーターです。

EXS型の特長(zhǎng)

● 接液部にはすべてPFAを使用
● 低ワット密度の設(shè)計(jì)で長(zhǎng)壽命
● 超純水、アルカリ液、酸性液に使用できます
● コンパクトなので設(shè)置が容易

維度核心價(jià)值
高純度全氟樹(shù)脂材質(zhì),無(wú)金屬離子污染
化學(xué)兼容性耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑等藥液
大容量設(shè)計(jì)圓筒形容器提供較大加熱容積
低溫設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命,免維護(hù)
水平安裝便于管路布局和系統(tǒng)集成
潔凈性適用于半導(dǎo)體、電子級(jí)應(yīng)用


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