日本P.R.A.半導(dǎo)體前工序?qū)Ｓ每烧{(diào)式高壓電源

日本P.R.A.半導(dǎo)體前工序?qū)Ｓ每烧{(diào)式高壓電源

一、產(chǎn)品核心定位與資質(zhì)

1. 應(yīng)用場景：專為半導(dǎo)體制造前工序設(shè)計，適配靜電卡盤（ESC）的高壓供電需求，是半導(dǎo)體制造設(shè)備的核心配套電源；

2. 企業(yè)資質(zhì)：企業(yè)已取得ISO9001:2015 質(zhì)量體系認(rèn)證，產(chǎn)品生產(chǎn)符合國際質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，且為日本千葉本土生產(chǎn)，品控有保障。

二、核心產(chǎn)品規(guī)格

1. 輸出參數(shù)：輸出電壓 ±1~±5kV，輸出電流 1~10mA，電壓、電流可在范圍內(nèi)無階調(diào)節(jié)；

2. 極性與模式：支持單極 / 雙極模式，具備接地（FG）、浮地（Floating）、偏置（Bias）多種工作模式，可按需選擇；

3. 操作與兼容：支持面板本地操作 + 外部信號遠(yuǎn)程控制，配備 RS-232 等通訊接口，可接入工控系統(tǒng)；產(chǎn)品符合RoHS 指令，有害物含量達(dá)標(biāo)；

4. 附加功能：可選擇配備 “電" 相關(guān)檢測 / 控制功能（文檔標(biāo)注有 / 無可選），適配不同工藝的監(jiān)測需求。

三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢

1. 工藝適配性強(qiáng)：針對靜電卡盤的庫侖型、J-R 型（約翰森 - 拉貝克型）做了專屬優(yōu)化，改進(jìn)了電流控制、極性反轉(zhuǎn)、放電保護(hù)機(jī)制，匹配兩種主流靜電卡盤的工作特性；

2. 高可靠性：產(chǎn)品主打高信賴性、長使用壽命，且采用無繼電器設(shè)計，減少機(jī)械故障點，適配半導(dǎo)體工廠連續(xù)化生產(chǎn)的高要求。