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日本tateyama院校研究桌上型等離子刻蝕設(shè)備

日本tateyama院校研究桌上型等離子刻蝕設(shè)備
適用于難加工材料的微細加工及MEMS的研究開發(fā)·試制加工

產(chǎn)品型號：TEP-Xd
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2026-02-02
訪問量：106

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日本tateyama院校研究桌上型等離子刻蝕設(shè)備

TEP-Xd —— 面向研發(fā)的桌面型等離子微加工設(shè)備

適用于難加工材料的微細加工及MEMS的研究開發(fā)·試制加工

產(chǎn)品特點

特點	說明
桌面尺寸	緊湊型設(shè)計，可放置于實驗臺上
與機型同等性能	實現(xiàn)功能性材料的高速加工
低價格	適合研究用或作為副機（Sub-machine）使用

概略

繼承概念，縮小體積：在保持TEP-01x概念的基礎(chǔ)上，實現(xiàn)了桌面尺寸的緊湊型低價格機型
靈活配置：適合作為研究室的導(dǎo)入設(shè)備或副機使用的等離子微加工裝置
操作便捷：可以像使用臺式鉆床、臺式車床一樣的感覺進行操作

刻蝕加工示例

1. 鈦（Titanium）加工

線寬：30μm
間距（Space）：30μm
高度：8μm
實現(xiàn)了鈦金屬的精細線條刻蝕

2. 石英（Quartz）加工

實現(xiàn)了石英材料的高質(zhì)量微細結(jié)構(gòu)加工
刻蝕側(cè)壁垂直，表面平滑

與 TEP-01x 的區(qū)別

項目	TEP-Xd	TEP-01x
尺寸	桌面型（緊湊型）	標準型（分體式，較大）
價格	更低	標準價格
用途	研究室、副機、教學(xué)	研發(fā)、試制、小規(guī)模生產(chǎn)
性能	與機型同等	標準性能
適用材料	難加工材料、功能性材料	塑料、壓電材料、難加工材料

適用場景

大學(xué)/研究機構(gòu)的MEMS研究
難加工材料（鈦、石英等）的微細加工實驗
作為現(xiàn)有設(shè)備（主設(shè)備）的副機進行樣品預(yù)研
教學(xué)演示用設(shè)備
預(yù)算有限但需要等離子刻蝕能力的實驗室

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日本tateyama院校研究桌上型等離子刻蝕設(shè)備

TEP-Xd —— 面向研發(fā)的桌面型等離子微加工設(shè)備

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1. 鈦（Titanium）加工

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