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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運(yùn)裝置在外氣·微粒子隔斷的狀態(tài)下，從搬運(yùn)容器（Minimal Shuttle）取出晶圓，并可向真空裝置內(nèi)搬入/搬出晶圓
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-02-02訪 問 量：102
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Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運(yùn)裝置
Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運(yùn)裝置
| 序號 | 特點(diǎn) | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | 隔斷 | 在外氣·微粒子隔斷的狀態(tài)下，從搬運(yùn)容器（Minimal Shuttle）取出晶圓，并可向真空裝置內(nèi)搬入/搬出晶圓 |
| 2 | 超緊湊設(shè)計(jì) | 尺寸僅 W267.5 × D114 × H378 mm，內(nèi)部集成前室、晶圓搬運(yùn)機(jī)器人、真空泵、真空計(jì)、控制器所有部件 |
| 3 | 高真空能力 | 內(nèi)置牽引分子泵（Drag Molecular Pump），可將前室內(nèi)排氣至高真空（10?3 Pa） |
| 4 | 壓力切換 | 在保持前室高真空的同時(shí)，可將搬運(yùn)容器內(nèi)從真空壓置換為大氣壓（或反向） |
| 5 | 高精度搬運(yùn) | 重復(fù)定位精度：±0.1mm以下 |
| 規(guī)格項(xiàng)目 | 詳細(xì)說明 |
|---|---|
| 晶圓搬運(yùn)機(jī)器人 | 高重復(fù)定位精度；示教（Teaching）容易 |
| 自動(dòng)穿梭夾具 | 標(biāo)配Auto Shuttle Clamp |
| 控制板 | 一體型控制板 |
| 高精度晶圓檢測功能 | 反射方式實(shí)現(xiàn)的高精度晶圓位置偏移檢測；可對應(yīng)透明晶圓 |
| 壓力置換機(jī)構(gòu) | Minimal Shuttle內(nèi)真空/大氣壓置換機(jī)構(gòu) |
| 認(rèn)證 | 已取得Minimal Product認(rèn)證 |
| 賣點(diǎn) | 說明 |
|---|---|
| 自動(dòng)穿梭夾具 | 標(biāo)配自動(dòng)Shuttle Clamp |
| 一體型控制板 | 集成化控制系統(tǒng) |
| 高精度晶圓檢測 | 精準(zhǔn)檢測晶圓位置和偏移 |
| Minimal Product認(rèn)證 | 已取得Minimal Fab產(chǎn)品認(rèn)證 |
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