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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ULVAC真空工藝設(shè)備殘留氣體分析計(jì)核心基于四重極型質(zhì)量分析技術(shù)，專為真空設(shè)備的氣體監(jiān)測與管理設(shè)計(jì)，是生產(chǎn)現(xiàn)場工藝監(jiān)測的通用型設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：Qulee BGM2-101廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-03-07訪 問 量：45
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日本ULVAC真空工藝設(shè)備殘留氣體分析計(jì)
日本ULVAC真空工藝設(shè)備殘留氣體分析計(jì)
高性價(jià)比通用設(shè)計(jì)：兼顧實(shí)用性與成本，適配工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場的常規(guī)殘留氣體分析需求，是真空設(shè)備管理的標(biāo)準(zhǔn)化監(jiān)測工具；
無電腦獨(dú)立操作：采用顯示部一體化設(shè)計(jì)，無需外接電腦即可完成全部測量操作，適配現(xiàn)場快速檢測需求；
一鍵極簡操作：搭載 One Click 功能，支持 He/H?O/N?/O?等常見氣體及任意氣體的一鍵分析，無需復(fù)雜參數(shù)設(shè)置，操作人員無專業(yè)門檻；
功能全面且實(shí)用：內(nèi)置完善的泄漏測試功能，同時(shí)支持全壓測量，一臺(tái)設(shè)備兼顧氣體成分分析與壓力檢測，還標(biāo)配 Qulee QCS 專業(yè)分析軟件，滿足精細(xì)化數(shù)據(jù)處理需求；
工業(yè)適配性強(qiáng)：符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)，支持高溫烘烤（傳感器單元拆 / 裝狀態(tài)下分別可耐受 250℃/120℃），適配真空設(shè)備的高溫維護(hù)場景，使用溫度范圍 10~40℃，滿足工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境要求。
| 機(jī)型 | 質(zhì)量數(shù)范圍 | 檢測器 | 靈敏度 | 最小檢測分壓 |
|---|---|---|---|---|
| BGM2-101 | 1~100 amu | 法拉第杯 | 10?? A/Pa | 10?? Pa |
| BGM2-201 | 1~200 amu | 法拉第杯 | 10?? A/Pa | 10?? Pa |
| BGM2-102 | 1~100 amu | 二次電子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10?12 Pa |
| BGM2-202 | 1~200 amu | 二次電子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10?12 Pa |
| 關(guān)鍵區(qū)別：102/202 雙檢測器款靈敏度和檢測精度遠(yuǎn)高于 101/201 單法拉第杯款，可實(shí)現(xiàn)超微量殘留氣體檢測；201/202 款的質(zhì)量數(shù)測量范圍拓展至 200 amu，能分析更大分子量的氣體成分。 |
真空蒸著、濺射等成膜設(shè)備的殘留氣體監(jiān)測；
高真空排氣裝置的氣體成分分析；
冷凍干燥設(shè)備的工藝氣體檢測；
科研領(lǐng)域的各類氣體成分分析實(shí)驗(yàn)。
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