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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  氣體檢測儀  /  氣體分析儀  /  BGM2-201/BGM2-202殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測

殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測

殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測
兼顧實用性與成本,適配工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場的常規(guī)殘留氣體分析需求,是真空設(shè)備管理的標準化監(jiān)測工具;
無電腦獨立操作:采用顯示部一體化設(shè)計,無需外接電腦即可完成全部測量操作,適配現(xiàn)場快速檢測需求;

  • 產(chǎn)品型號:BGM2-201/BGM2-202
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2026-03-07
  • 訪  問  量:46
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詳細介紹

殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測

殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測

Qulee BGM2 系列(101/201/102/202)是一款主打簡潔易用、高性價比的新型殘留氣體分析計(RGA),核心基于四重極型質(zhì)量分析技術(shù),專為真空設(shè)備的氣體監(jiān)測與管理設(shè)計,是生產(chǎn)現(xiàn)場工藝監(jiān)測的通用型設(shè)備,其中 BGM2-101/102 為基礎(chǔ)款,201/202 為高規(guī)格款,以下是核心內(nèi)容總結(jié):

產(chǎn)品核心特點

  1. 高性價比通用設(shè)計:兼顧實用性與成本,適配工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場的常規(guī)殘留氣體分析需求,是真空設(shè)備管理的標準化監(jiān)測工具;

  2. 無電腦獨立操作:采用顯示部一體化設(shè)計,無需外接電腦即可完成全部測量操作,適配現(xiàn)場快速檢測需求;

  3. 一鍵極簡操作:搭載 One Click 功能,支持 He/H?O/N?/O?等常見氣體及任意氣體的一鍵分析,無需復(fù)雜參數(shù)設(shè)置,操作人員無專業(yè)門檻;

  4. 功能全面且實用:內(nèi)置完善的泄漏測試功能,同時支持全壓測量,一臺設(shè)備兼顧氣體成分分析與壓力檢測,還標配 Qulee QCS 專業(yè)分析軟件,滿足精細化數(shù)據(jù)處理需求;

  5. 工業(yè)適配性強:符合 CE 標準,支持高溫烘烤(傳感器單元拆 / 裝狀態(tài)下分別可耐受 250℃/120℃),適配真空設(shè)備的高溫維護場景,使用溫度范圍 10~40℃,滿足工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境要求。

核心規(guī)格與機型差異

全系列均采用四重極型質(zhì)量分析計,分解能 M/△M=1M (10% P.H.),使用壓力 1×10?2Pa,供電為 DC24V±10% 50W,核心差異體現(xiàn)在質(zhì)量數(shù)測量范圍檢測器配置,直接決定檢測靈敏度和適用場景:
機型質(zhì)量數(shù)范圍檢測器靈敏度最小檢測分壓
BGM2-1011~100 amu法拉第杯10?? A/Pa10?? Pa
BGM2-2011~200 amu法拉第杯10?? A/Pa10?? Pa
BGM2-1021~100 amu二次電子倍增管 + 法拉第杯4A/Pa10?12 Pa
BGM2-2021~200 amu二次電子倍增管 + 法拉第杯4A/Pa10?12 Pa
關(guān)鍵區(qū)別:102/202 雙檢測器款靈敏度和檢測精度遠高于 101/201 單法拉第杯款,可實現(xiàn)超微量殘留氣體檢測;201/202 款的質(zhì)量數(shù)測量范圍拓展至 200 amu,能分析更大分子量的氣體成分。



核心適用場景

專為真空工藝設(shè)備的殘留氣體分析設(shè)計,覆蓋工業(yè)生產(chǎn)與研發(fā)多場景:
  1. 真空蒸著、濺射等成膜設(shè)備的殘留氣體監(jiān)測;

  2. 高真空排氣裝置的氣體成分分析;

  3. 冷凍干燥設(shè)備的工藝氣體檢測;

  4. 科研領(lǐng)域的各類氣體成分分析實驗。



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